머리말
Ⅰ 서론
1. 반도체의 정체
2. 불순물에 따라 변하는 반도체
3. 반도체 소자의 기본
Ⅱ 반도체 소자가 등장한 배경
1. 반도체 물질의 결정 이론
2. Transistor가 등장한 배경
3. Transistor의 개발
4. Planar process와 집적회로의 등장
5. IC 속에는 무엇이 들어가 있는가
Ⅲ 반도체의 경제성
1. Wafer의 대형화
2. 선폭의 축소와 집적도의 증가
3. Yield의 향상
4. Learning curve
Ⅳ 반도체 제조공정
1. Si 원료 제조공정
① 금속규소
② 다결정 Si
③ 단결정 Si
④ Wafer
2. Wafer fabrication
① 회로설계
② Photomask 제작
③ 박막형성
④ Photoresist 도포
⑤ 노광, pattern 형성
⑥ 현상, etching
⑦ 확산, 이온주입
⑧ 평탄화
⑨ 배선, 전극형성
⑩ 검사
Ⅴ 반도체 조립
① Wafer scribing
② Chip mounting
③ Wire bonding
④ Packaging/sealing
⑤ Marking
Ⅵ 반도체의 구조와 역할
1. Transistor
2. Diode
3. 반도체의 memory
Ⅶ 특수한 용도의 반도체
1. Si를 사용한 특수 반도체
2. 화합물 반도체
3. 특수 반도체
용어의 정의